集团动态
产业发展的推动者 ● 城市更新的建设者
第二届“临港工匠”选树表彰活动由临港新片区管委会主办、临港集团协办,临港集团工会和南汇新城镇总工会承办。经前期广泛宣传,严格筛选,并邀请9名“大国工匠”以及国家级技能大师、劳模等作为专家评审团评委,最终从200名报名人员中评选出20名正式候选人和20名提名奖候选人,并进行了为期5天的网络投票。
8月18日,临港新片区第二届“临港工匠”表彰大会隆重举行,大会表彰了20名“临港工匠”及20名提名奖获得者。
这40名能工巧匠来自于集成电路、人工智能、民用航空和生物医药等重点产业,大都是奋战在一线操作岗位上的产业工人。他们兢兢业业、默默奉献,是奋战在生产建设一线的基层劳动者,是践行“严谨细致、精益求精、守正创新、追求卓越”的“临港工匠”精神的优秀代表,也是新片区各行各业成千上万名劳动者中的优秀代表,集中展现了新片区劳动者精神品质、技艺水平、创造能力,是新片区所有劳动者学习的榜样、追赶的目标。
台湾清华大学的高材生,毕业4年后即来到大陆,并扎根在此,潜心研究半导体相关的工艺。20多年的工作中,他一直从事半导体技术的相关研究,涉及两个公司总共申请了37个专利。
但是他认为,创新的意义不止于成功申请了多少个专利,因为专利是有保护年限的,所以应该不断地精益求精,保持持续的技术改进。
专注、创新、不私藏,这是林志鑫的理念,也是他的实践。他所理解的工匠精神,是一种职业精神,是职业道德、职业能力、职业品质的体现。
林志鑫1975年出生于中国台湾省台北县,1999年毕业于台湾清华大学核子工程专业,并获得硕士学位。研究生毕业后曾从业于台湾南亚科技、台湾应用材料,2003年来到大陆后,先后加入中芯国际及晶盟硅材料从事半导体工艺技术工作,现任上海新昇半导体科技有限公司外延工艺处长。
这是一份耀眼的履历,但作为履历的主人,林志鑫却十分低调朴实。虽然学的是核子工程专业,但在集成电路产业发展得如火如荼的大潮下,林志鑫选择了投身于半导体工艺的研究。对于他这名理工科的高材生来说,这种跨界并不困难,因为在他看来很多理论都是相通的。
这些年,他从研究半导体的薄膜工艺,到如今专注于外延工艺,通过自己的创新,让企业有效降低了产品成本,从而在国际竞争中占有一席之地,帮助企业和中国的半导体行业解决卡脖子问题,凸显了自己的价值。
帮助解决行业卡脖子问题
林志鑫在中芯国际时,研究的是集成电路的薄膜工艺,到晶盟后,开始研究硅片的外延工艺。从集成电路到硅片,林志鑫从半导体行业的下游转到了上游。他形象地解释两者之间的关系:“硅片像建筑业里面供应地皮的角色一样,之后开发商盖房子,就相当于是在硅片上做集成电路。”
而他从加入晶盟后开始研究的外延工艺,对于硅片生产来说意义深远。“这种工艺是在硅片上加了一层薄膜,但就是这么小小的一层薄膜,可以带来天翻地覆的变化。”林志鑫说,电子器件是靠电子传递讯号,外延工艺则可以让电子在硅片上跑得更远,从而让集成电路的参数提高100倍。
据了解,硅片加工的外延工艺大约在上世纪70年代从美国开始兴起,国内直到上世纪90年代才开始逐步掌握这种工艺,但当时只是在一些小尺寸的硅片上。因为这种工艺门槛较高,到本世纪初,国内才开始有运用这种工艺进行硅片量产的尝试。
2014年,林志鑫加入新昇半导体公司,任外延工艺处长。新昇半导体是国内目前最领先的12寸大硅片制造商,也是中国内地规模最大、技术最完善的12寸大硅片生产企业之一。
在这里,林志鑫更加持续深入地研究外延工艺,并陆续完成了40纳米至28纳米硅外延材料的开发和量产,成功填补了国内高端硅基外延材料的空白,解决了国外对中国的卡脖子问题。另外,对于14纳米以上的工艺突破,使得14纳米以上的集成电路原材料完全实现了国产替代,这对于中国的半导体行业是一个里程碑式的突破。
6年完成30项专利申请
20多年工作期间,林志鑫一直从事半导体技术工作,从未更换过行业,从半导体后道工艺再到半导体材料的前道工艺,与工匠的专注精神非常一致。
虽然已经在半导体行业有了深厚积累,但每一份工作对林志鑫来说,都是一个全新的学习过程。在工作之余,他热爱发明研究,注重专利创新,在20多年的半导体从业过程中,涉及两个公司总共申请了37个专利。
2010年至2013年间,他申请的有质量方面的专利,也有技术突破方面的专利,以及梯度外延专利等。而他申请专利的大爆发期,当属2014年加入新昇半导体后。
2014年至今,在新昇半导体从业的6年内,林志鑫完成了30项专利的申请,其中28个为创新型专利,2个为实用新型专利,已完成13个专利的授权和一个专利的审核。其中有20个是涉及到外延工艺的。
其中,硅单晶棒回收装置、硅单晶棒回收方法、以及液氮供应装置,有效降低了产品的成本,在与国外先进12英寸硅材料企业竞争的过程中,提升了国内企业的竞争力,为早日达到国际先进水平打下坚实的基础。
原来,生产硅片产生的废料,是用破碎机高压压成碎屑,然后拿去回收。“但是用车床容易对多晶硅废料产生金属污染,导致金属杂质进入多晶硅中。”林志鑫说。
在和同事们的“头脑风暴”中,林志鑫想到,半导体工厂本身会用到大量氮气,这些氮气是使用液态氮产生的,所以公司有大量液态氮。“液态氮温度是极低的,是不是可以利用热胀冷缩原理,把多晶硅放进液态氮后再拿出去,它就会自行爆裂,达到粉碎效果?”经过试验,他的这一想法被成功验证。
除此外,林志鑫研究的基板抓取装置及其抓取方法专利,则为硅片外延加工时在高温环境下取片容易导致几何参数的异常提供了新的研究方向,新的装置和方法使外延薄膜的边缘平坦度更好,从而更好地满足后续工艺的要求。
传承带教出“精兵强将”团队
虽然专利申请成绩颇丰,但林志鑫认为,创新的意义不止于申请了多少个专利,因为专利是有保护年限的,而是应该不断精益求精,力求保持持续的技术改进。
这也是林志鑫所理解的工匠精神的一部分。在他看来,工匠精神是一种职业精神,是职业道德、职业能力、职业品质的体现,是从业者的一种职业价值取向和行为表现。
林志鑫还是个非常敬业的工程技术人员。2016年7月期间,在专业人员短缺、客观条件差等诸多不利的条件下,他身先士卒,不怕苦、不怕累,带领整个外延工艺团队加班加点,快速解决了颗粒、滑移线、电阻率均匀性等一系列技术难点,最终在一个月后完成了国内第一片90纳米以下制程的12英寸外延片的送样,成功填补了国内的空白。三个月之后,就生产出了40纳米的12英寸外延片。
“工匠精神还有很重要的一点,就是经验的传承,把技术和经验无条件地传给更多人,而不是藏私。”林志鑫说。因此,在个人技术过硬的情况下,他也在一直思考如何将自己的能力传承下去。在加入新昇半导体这6年里,他为公司培养出了一支技术过硬、对公司忠诚度又高的外延工艺技术团队。
这支梯队虽然只有十数人,但是他们通过岗位OJT训练法(边工作边学习)和师傅带教的培训模式,个个都是“训练有素”的精兵强将。林志鑫毫无保留地将经验传授予他们,也是秉持了工匠们对技术的传承精神。
在解决了14纳米以上芯片的卡脖子技术后,如今,在林志鑫和同事的共同努力下,新昇半导体公司也已研发并生产出28纳米至14纳米的硅片样品,正在客户的验证阶段。林志鑫说,后续会继续专注于技术的突破,为解决国家14纳米硅外延材料的开发和量产做出贡献。
往期回顾
图文来源:临港产工委